電液伺服閥是在二戰期間由于飛行器等軍事裝備對控制系統快速性動(dòng)態(tài)精度的更高要求而發(fā)展起來(lái)的,并在戰后逐漸用于民用和工業(yè)設備。它是一種接受模擬量電控制信號,輸出隨電控信號大小和極性變化、且快速響應的模擬量流量和(或)壓力的液壓控制閥。根據其液壓放大器的不同,主要分為噴嘴擋板式伺服閥和射流管式伺服閥。電液伺服閥具有體積小,功率放大率高、直線(xiàn)性好、響應速度快、運動(dòng)平穩可靠,能適應模擬量和數字量調節等優(yōu)點(diǎn),在各種電液伺服系統中得到特別的重視。
電液比例閥,是針對伺服控制存在的諸如功率損失大、對液壓過(guò)濾要求高、制造和維護費用高、而它提供的快速響應性在一般工業(yè)設備中又往往用不著(zhù)的情況,是在傳統開(kāi)關(guān)閥的基礎上發(fā)展起來(lái)的。電液比例閥可以根據輸入電氣信號,按比例對工作油液的壓力、流量和方向進(jìn)行控制。
比例閥發(fā)展的初期階段,僅是將比例電磁鐵代替普通液壓閥的開(kāi)關(guān)型電磁鐵或調節手柄,工作頻寬小,穩態(tài)滯環(huán)大,只能用于開(kāi)環(huán)系統。20世紀70年代中期至80年代初,比例閥開(kāi)始采用各種內反饋原理,耐高壓、比例電磁鐵和比例放大器技術(shù)日趨成熟。閥的工作頻寬達到5~10Hz,穩態(tài)滯環(huán)降低到3%左右。
80年代后,比例閥在設計上采用了壓力、流量、位移內反饋及電校正等手段,使閥的穩態(tài)精度、動(dòng)態(tài)響應和穩定性都有了進(jìn)一步提高。除了中位仍有部分死區外。
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